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產(chǎn)品名稱:
德國scia Systems離子束拋光設(shè)備
產(chǎn)品時間:
2025-04-24
產(chǎn)品型號:
scia Trim 200
產(chǎn)品報價:
500000
產(chǎn)品特點:
赫爾納供應德國scia Systems離子束拋光設(shè)備scia Trim 200,德國總部直接采購,近30年進口工業(yè)品經(jīng)驗,原裝產(chǎn)品,支持選型,為您提供一對一的解決方案:貨期穩(wěn)定,報價優(yōu),在中國設(shè)有8大辦事處提供相關(guān)售后服務(wù)。
  scia Trim 200德國scia Systems離子束拋光設(shè)備的詳細資料:

德國scia Systems離子束拋光設(shè)備scia Trim 200

 

赫爾納供應德國scia Systems離子束拋光設(shè)備scia Trim 200,德國總部直接采購,近30年進口工業(yè)品經(jīng)驗,原裝產(chǎn)品,支持選型,為您提供一對一的解決方案:貨期穩(wěn)定,報價優(yōu),在中國設(shè)有8大辦事處提供相關(guān)售后服務(wù)。

 

公司簡介

德國scia Systems GmbH成立于1999年,總部位于德國開姆尼茨(Clemens-Winkler-Str. 6c),專注于離子束技術(shù)的研發(fā)與設(shè)備制造。公司產(chǎn)品覆蓋半導體、光學器件、通信及精密儀器領(lǐng)域,致力于為工業(yè)制造提供高精度表面加工解決方案。

 

產(chǎn)品類型

離子束修整系統(tǒng)

離子束拋光設(shè)備

離子束刻蝕設(shè)備

離子束濺射鍍膜設(shè)備

大面積表面校正系統(tǒng)

薄膜均勻性修正設(shè)備

微結(jié)構(gòu)加工設(shè)備

 

主要型號

scia Trim 200200 mm晶圓高精度表面修整

scia Trim 300300 mm晶圓表面校正

scia Mill 200200 mm晶圓全表面刻蝕

scia Finish 15001500 mm基底拋光修正

scia Plasma 100:等離子體輔助刻蝕系統(tǒng)

scia Coat 500:離子束濺射鍍膜設(shè)備

 

產(chǎn)品介紹

scia Trim 200功能定位

專為半導體、光學及通信領(lǐng)域設(shè)計,用于晶圓表面原子級精度修整與拋光,兼容光刻膠掩膜晶圓加工。

 

技術(shù)參數(shù)

1.支持晶圓尺寸:100-200 mm

2.膜厚均勻性控制:±0.1 nm

3.配置選項:雙工藝腔室、雙晶圓盒裝載鎖

4.冷卻系統(tǒng):低溫靜電吸盤(支持光刻膠掩膜加工)

 

工作原理

通過聚焦寬離子束垂直掃描晶圓表面,調(diào)節(jié)離子束駐留時間控制局部材料去除量,實現(xiàn)亞納米級精度修整??蛇x配反應氣體(RIBT技術(shù))增強特定材料加工效率。

 

優(yōu)勢特點

1.原子級精度控制:膜厚均勻性調(diào)整達0.1 nm,支持零基底刻蝕功能。

2.全區(qū)域加工能力:靜電吸盤技術(shù)消除晶圓邊緣加工限制。

3.材料兼容性強:適用硅、石英、鈮酸鋰、光刻膠等多種材料。

4.自動化生產(chǎn)設(shè)計:半導體級機械手與集群配置提升產(chǎn)能穩(wěn)定性。

5.低溫工藝保護:高效冷卻系統(tǒng)避免加工過程中熱損傷。

 

主要應用

1.半導體制造

SOI晶圓厚度修整

MEMS結(jié)構(gòu)尺寸校正

 

2.通信器件

5G濾波器(BAW/SAW)頻率修整

鈮酸鋰(LN)、鉭酸鋰(LT)晶圓加工

 

3.光學儀器

X射線鏡面形貌修正

精密光學基底拋光

 

4.數(shù)據(jù)存儲

薄膜磁頭(TFH)膜厚誤差校正

 

5.科研領(lǐng)域

納米級微結(jié)構(gòu)實驗加工

 

 

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